CYB-S210 纳米薄膜压力传感器芯体
CYB-S210 型纳米薄膜压力传感器芯体是采用新型敏感材料技术、真空原子薄膜沉积等技术,将纳米薄膜应变电阻直接沉积在金属弹性体上,实现了敏感元件与弹性体的原子结合,解决了传统传感器因敏感元件与弹性体之间受力滑动产生的零点漂移而导致的不稳定、不可靠的问题,真正实现了在高温、高压、恶劣环境下的长期稳定性和高可靠性。该产品是高性能压力传感器和变送器的理想精密测量元件。
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产品概述
CYB-S210 型纳米薄膜压力传感器芯体是采用新型敏感材料技术、真空原子薄膜沉积等技术,将纳米薄膜应变电阻直接沉积在金属弹性体上,实现了敏感元件与弹性体的原子结合,解决了传统传感器因敏感元件与弹性体之间受力滑动产生的零点漂移而导致的不稳定、不可靠的问题,真正实现了在高温、高压、恶劣环境下的长期稳定性和高可靠性。该产品是高性能压力传感器和变送器的理想精密测量元件。
产品特点
● 新型敏感材料专利技术,采用国际先进的纳米薄膜沉积工艺及微机械加工技术制成。
● 不受传统的金属箔式应变计粘贴工艺引入的蠕变、迟滞、老化缺陷的影响,长期稳定性好,工作可靠。
● 无 PN 结引入的温度误差大和工作温区小的问题,具有特别优良的温度特性。
● 优质不锈钢弹性膜片材料,介质兼容性好,抗腐蚀性能强。无隔离膜片,不用灌油充液。
● 高稳定性,压力传感器经 1000 万次压力循环,其漂移量 ≤±0.1% FS/年。
● 高工作温度下,同时具有高稳定性和极小的零点温度漂移。CYB-S210
技术参数 测量范围
(0~0.5~10~35~70~100~200) MPa 稳定性
≤±0.1% FS/年 过载压力
250% FS 零点温度漂移
≤±0.002% FS/℃ 工作温度
(-40~+125)℃,(-40~+150)℃,(-40~+300)℃ 综合精度
±0.1% FS、±0.2% FS、±0.3% FS(包括非线性、重复性及迟滞误差)
信号输出形式
≥(1.5±0.2)mV/V 产品直径
Φ6~Φ22 mm 桥臂电阻
(6.5±1)KΩ 产品应用
¤ 武器装备 ¤ 航空航天 ¤ 石油化工 ¤ 机械 ¤ 矿山 ¤ 电力 ¤ 交通 ¤ 核工业 ¤ 冶金 ¤ 工业过程控制 ¤ 家用电器
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